品牌：日本日立

规格：SU8600

二次电子像分辨率：0.6 nm@15 kV；0.7 nm@1 kV

放大倍率：20～2,000,000×

电子枪：冷场发射电子源，支持柔性闪烁功能，包含阳极烘烤系统

加速电压：0.5～30 kV

着陆电压：0.01～20 kV